1.活性炭吸附法
废气处理设备活性炭吸附法是利用活性炭内部的微孔，将废气中的一种或几种组分浓集在固体表面，从而与其它组分分开。对于挥发性有机组份的处理活性炭吸附是一种经济有效的工艺，它有高的吸附效率，大的适应范围。废气处理但活性炭再生工艺较复杂，投资较高。
2.催化燃烧法
废气处理设备催化燃烧是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能。该工艺具有处理效率高，无二次污染。但该工艺投资较大，对有机废气的有机物的浓度有一定的要求及经营管理与操作水平要求较高等缺点。因此在选用中受到了相应的限制。
3.燃烧法
废气处理设备用燃烧方法消除有害气体、蒸气或烟尘，使其变为无害物质的过程，称为燃烧净化，燃烧净化时所发生的化学作用高要是燃烧氧化作用及高温下的热分解。有机气态污染物燃烧氧化的结果，生成了CO2和H2O。燃烧净化方法分为直接燃烧和热力燃烧。